
應用場景:合成氨/甲醇生產車間、石油煉制加氫工藝、氯堿工業電解槽周邊、氫氣壓縮機房及管道接口處。
核心作用:
泄漏實時監測:氫氣在化工生產中作為原料(如合成氨的N?+H?反應)或中間產物(如石油加氫脫硫),需通過檢測儀精準捕捉管道閥門、法蘭等薄弱環節的微量泄漏(檢測范圍通常覆蓋0-1000ppm或0-4%LEL),防止濃度達到爆炸下限(4%)引發燃爆事故。
工藝安全控制:在加氫反應釜、氣柜等設備附近部署,實時監測氫氣純度與壓力波動,確保反應條件穩定(如合成氨工藝中氫氣純度需維持在99.9%以上),避免因濃度異常導致產品質量下降或設備腐蝕。
區域風險劃分:根據氫氣比空氣輕(密度0.0899kg/m3)的特性,在車間頂部等高位置安裝檢測儀,形成立體監測網絡,覆蓋泄漏氣體易積聚區域,聯動排風系統快速稀釋濃度
應用場景:晶圓制造車間(外延生長、離子注入)、電子元件焊接保護氣系統、光刻膠涂覆工藝間。
核心作用:
保護氣氛圍監測:氫氣在半導體工藝中作為還原性保護氣(如硅片外延生長時防止氧化),檢測儀需實時監控管道內氫氣濃度(通常要求≥99.999%),當純度下降或混入空氣時觸發報警,避免硅片氧化導致產品良率降低。
潔凈室安全防護:在百級/千級潔凈室內,氫氣泄漏可能與光刻膠等有機溶劑蒸汽形成燃爆混合物,檢測儀需具備抗電磁干擾(EMI)能力,與FFU(風機過濾單元)聯動,確保泄漏后快速置換空氣,維持Class 1級潔凈度標準。
設備尾氣排放監控:監測外延爐、離子注入機的尾氣排放口氫氣濃度,確保燃燒處理裝置(如火炬系統)分解未反應氫氣,避免直接排放引發大氣污染或安全隱患
應用場景:金屬熱處理爐(如退火、淬火)、鎂鋁冶煉車間、焊接保護氣管道。
核心作用:
高溫環境下的穩定監測:在1000℃以上的熱處理爐周邊,檢測儀需具備耐溫設計(如采用高溫隔熱外殼或外置采樣泵),監測爐體密封失效導致的氫氣泄漏,防止與高溫金屬接觸引發爆燃。
鎂合金熔煉安全:鎂在熔融狀態下與氫氣接觸可能產生氫脆,檢測儀需安裝在熔煉爐加料口、出液口等位置,實時監控氫氣濃度,與惰性氣體(氬氣)補氣系統聯動,抑制氫氣滲透。
焊接工藝保護:氫氣作為焊接保護氣時,泄漏可能導致焊縫氣孔或氫致裂紋,檢測儀需與焊接機器人的氣源控制系統對接,濃度異常時自動切換至備用保護氣(如氮氣),保障焊接質量。